Течеискатели

Контроль герметичности: Гелиевые течеискатели

Герметичность — базовое требование к вакуумным системам. Поиск течей осуществляется с помощью масс-спектрометрических течеискателей, настроенных на регистрацию гелия (He). Гелий используется как пробный газ благодаря малому размеру молекулы, инертности и низкой концентрации в атмосфере.

Методы течеискания

• Вакуумный метод (Обдув): Изделие откачивается течеискателем. Снаружи подозрительные места обдуваются гелием. Гелий проникает через течь и регистрируется прибором. Чувствительность до $10^{-12}$ Па·м³/с.
• Метод щупа (Sniffer): Изделие заполняется гелием под избыточным давлением. Оператор водит щупом-анализатором по поверхности. Позволяет найти место утечки, но имеет меньшую чувствительность ($10^{-7}$ Па·м³/с).