Вакуумные вводы

Интерфейсы: Связь с вакуумом

Вводы (Feedthroughs) позволяют передавать электричество, жидкости, движение и свет внутрь герметичной камеры.

• Электрические: Металлокерамические спаи. От сигнальных (Sub-D) до силовых (Power) и высоковольтных (до 100 кВ).
• Вводы движения: Сильфонные (линейные) и магнитные (вращательные) механизмы для манипулирования образцами.
• Оптические: Окна из кварца, сапфира или ZnSe для лазеров и пирометрии.