Содержание
Ловушки доступны для исследовательских и производственных ALD-систем и поддерживают разные диаметры и фланцевые подключения.
Снижение простоев
Применение сменных фильтров и селективных сорбентов уменьшает накопление отложений и увеличивает интервалы обслуживания.
Гибкость настройки
Конфигурации подбираются под тип прекурсоров и характер загрязнений процесса.
Источник: Mass-Vac, Inc.
Входные ловушки Mass-Vac для ALD помогают удалять твердые и конденсируемые побочные продукты, снижая загрязнение форлинии и вакуумного насоса.
Mass-Vac, Inc. представила новый вариант дренажного подключения входного сепаратора для полупроводниковых фабрик с ALD-технологией (атомно-слоевое осаждение).
Отличная статья! Мы на производстве уже столкнулись с проблемой окисления меди на старых фланцах. Думали менять поставщика, а оказывается дело в сплаве.
А как насчет алюминиевых уплотнений? Для UHV они тоже применяются. Планируется ли по ним обновление стандарта?
Некогда читать? Спросите ИИ о ключевых выводах статьи или попросите сравнить стандарты.
Mass-Vac, Inc. представила новый вариант дренажного подключения входного сепаратора для полупроводниковых фабрик с ALD-технологией (атомно-слоевое осаждение).
Привет, John! Алюминиевые C-seal (Helicoflex) регулируются другим стандартом. Пока изменений там не анонсировали, но мы следим за новостями.