Содержание
Входной сепаратор MV MultiTrap для ALD теперь может оснащаться дренажным портом во входной линии. Игольчатый клапан подает атмосферный воздух для запуска реакции между прекурсорами TMA и H2O, в результате чего образуется твердый порошок Al2O3, улавливаемый фильтром из нержавеющей сетки.
Такое решение эффективно удаляет большие объемы твердых побочных продуктов и повышает надежность вакуумной части процесса.
Сепараторы из нержавеющей стали 1.4301 (AISI 304) доступны в диаметрах 12" и 16", с разными вариантами фланцев входа/выхода и размерами дренажного порта NW-10 и NW-16.
Источник: Mass-Vac, Inc.
